稳健性工业设计（Robust Design）和经过实践证明的高可靠性轴承系统。
紧凑型结构以满足更小的物理空间安装需求。
高气流量和高抽速。
可任意角度安装。
防护等级IP54符合工业环境应用要求。
可应用于腐蚀性气体工况。
SEMI S2 和 UL认证。
完整的配件系统扩展了潜在客户的需求。
更长时间维护保养时间。
可现场更换轴承。
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2707-Operating voltage: V DC
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24 (± 5 %) V DC
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Ar 的压缩比
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>1 · 1011 |
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Ar 的抽速
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66 L/S |
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Ar 的最终转速时的气体流量
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0.54 hPa l/s | 0.41 Torr l/s | 0.54 mbar l/s
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| H2 |
1.4 · 105
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| H2 | 48 L/S |
| H2 |
15.3 hPa l/s | 11.47 Torr l/s | 15.3 mbar l/s
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He 的压缩比
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1.3 · 107
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He 的抽速
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58 l/s
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He 的最终转速时的气体流量
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2.7 hPa l/s | 2.02 Torr l/s | 2.7 mbar l/s
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I/O 接口
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RS-485,
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N2
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> 1 · 1011
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N2
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22 |
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N2
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1.3 hPa l/s | 0.97 Torr l/s | 1.3 mbar l/s
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不带气镇的最终压力
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< 5 · 10-10
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允许冷却水的温度
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5 – 25 °C
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冷却水消耗最小值
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75 l/h
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冷却水耗量
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75 l/h
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声压水平
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≤48 dB(A) (A)
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排气连接
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G 1/8"
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最大允许磁场
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3.8 mT
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根据 PNEUROP 的最终压力
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< 5 · 10-10
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电子驱动单元
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TC 110
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电流最大值
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4,6 A
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耗电量 max.
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110
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转速 ± 2 %
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90,000 rpm | 90,000 min-1
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转速可变化
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50 – 100 %
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运行时间
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1.7 |
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连接法兰（入口）
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DN 63 CF-F
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连接法兰（出口）
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DN 16 ISO-KF/G ¼"
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重量
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3.8 |
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防护等级
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IP54
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